真空度达不到15Pa以下

1

检查真空泵与主机之间连接，卡箍是否正确卡紧。

2

检查有机玻璃罩下端平面是否清洁，有无伤损。

3

检查“○”型密封圈是否清洁，放置是否正确。

4

检查真空泵工作是否正常，观察泵油是否清洁。

5

检查真空阀是否拧紧。

真空泵漏油

1

检查机身部位，更换所需配件。

2

 冷阱温度偏高

3

环境温度过高，散热不良，请将机器置于环境温度合适，通风良好处。

4

如若制冷系统故障，请与公司技术工程师联系。